相变存储器器件单元测试系统及测试方法

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专利名称 相变存储器器件单元测试系统及测试方法 申请号 CN200610028229.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1905077 公开(授权)日 2007.01.31 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 宋志棠;刘波;梁爽;陈小刚;封松林 主分类号 G11C29/56(2006.01) IPC主分类号 G11C29/56(2006.01) 专利有效期 相变存储器器件单元测试系统及测试方法 至相变存储器器件单元测试系统及测试方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种相变存储器器件单元的测试系 统及测试方法,其特征在于所述的测试系统是由控制计算机、 脉冲信号发生器、数字信号源、微控探针台和转换连接部件组 成;其中,通过通用接口总线使主控计算机与脉冲信号发生器 和数字信号源相连;通过控制卡的控制电缆使脉冲信号发生器 和数字信号源与微控探针台相连;主控计算机通过控制于控制 探针台在脉冲信号发生器和数字信号源之间切换;微控探针台 的两个探针分别与相变存储器的上、下电极接触,构成一个存 储单元,并通过操作模块进行电流-电压、电压-电流、电阻 与写脉高、电阻与写脉宽、电阻与擦脉高、电阻与擦脉宽以及 疲劳等七种测试。

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