| 专利名称 | 新型微尖端面阵列器件 | 申请号 | CN200510012172.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1897170 | 公开（授权）日 | 2007.01.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 焦斌斌;陈大鹏;欧毅;叶甜春 | 主分类号 | G12B21/04(2006.01) | IPC主分类号 | G12B21/04(2006.01);G01N13/12(2006.01) | 专利有效期 | 新型微尖端面阵列器件 至新型微尖端面阵列器件 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明涉及扫描隧道显微镜技术领域，特别是一 种新型微尖端面阵列器件。由夹持框架(1)、支撑膜(2)、悬臂梁 (3)微尖端(7)四个部分组成。夹持框架(1)用于夹持整个器件使 之与外部系统结合并为整个器件结构提供保护；支撑膜(2)用于 支撑悬臂梁结构与导线(4)和内焊盘(5)；悬臂梁(3)单元采用顺 序平铺的方式构成平面阵列；微尖端(6)由金属电镀生成。 |
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