| 专利名称 | 石墨烯纳机电系统开关器件 | 申请号 | CN200910091396.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101993035A | 公开（授权）日 | 2011.03.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 张广宇;时东霞;史志文;杨蓉;王毅 | 主分类号 | B82B1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B82B1/00(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I | 专利有效期 | 石墨烯纳机电系统开关器件 至石墨烯纳机电系统开关器件 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种石墨烯纳机电系统开关器件，包括：一U形沟槽结构；制作于该U形沟槽结构两侧边端部的两个金属电极，该金属电极作为源极；制作于该U形沟槽结构沟内底面中心的一接触电极，该接触电极作为漏极；基底作为栅极，源极与栅极以及漏极与栅极之间具有一绝缘层；两端分别固定于两源极的一石墨烯条带，该石墨烯条带悬浮于漏极之上，在该石墨烯条带发生形变时与漏极连通或关断。利用本发明，实现了器件的小型化，从而为将来这类器件的更高程度的集成创造了条件，非常有利于器件的集成。 |
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