| 专利名称 | 多样品霍尔效应测试设备 | 申请号 | CN200610027355.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1885051 | 公开（授权）日 | 2006.12.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 杨晓阳;陈新禹;林杏潮;陆荣;邵秀华;张莉萍 | 主分类号 | G01R31/26(2006.01) | IPC主分类号 | G01R31/26(2006.01);G01R31/00(2006.01);G01R33/12(2006.01) | 专利有效期 | 多样品霍尔效应测试设备 至多样品霍尔效应测试设备 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种基于多样品霍尔效应测试设备，系为多片样 片霍尔效应测试设备，主要应用于批量半导体材料电学输运性 能的测试。该设备主要由一个主系统和一个从系统及一只PC 机组成。主系统主要负责测试信号的产生和接收，测试过程中 被测样品的自动切换；从系统主要负责提供测试平台和测试磁 场。设备电学参数的测量，并将测试结果显示在测试面板上。 本设备的最大的优点是可以实现多片样品的连续测量，以及对 于磁场的精确控制，从而提高了测试效率和测试精度。另外可 以实现半导体材料测试电极的I－V曲线测试，变磁场霍尔效 应测试，以及电子数据的存储，从而自动完成批量被测样品的 测试及测试结果记录的整个过程。 |
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