| 专利名称 | 微尖端线列器件 | 申请号 | CN200510011987.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1885438 | 公开（授权）日 | 2006.12.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 焦斌斌;陈大鹏;欧毅;叶甜春 | 主分类号 | G12B21/00(2006.01) | IPC主分类号 | G12B21/00(2006.01);G12B21/02(2006.01) | 专利有效期 | 微尖端线列器件 至微尖端线列器件 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 微尖端线列器件，由单晶硅材料的夹持端、附着 有鉻和金的氮化硅悬臂梁、镍金属的微尖端构成。本发明的微 尖端线列器件，各微尖端可以通过外电路并行控制或分别控 制；使用<100>晶向的单晶硅作为衬底制造，成本低廉；通过 标准微电子机械(MEMS)工艺加工，成品率高；可以并行完成 扫描隧道显微镜所能胜任的所有任务，如：材料表面并行探知、 材料表面并行微米/纳米级加工、高密度存储等。 |
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