| 专利名称 | 交错振动式电场传感器 | 申请号 | CN200510011895.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1877349 | 公开（授权）日 | 2006.12.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 夏善红;龚超;陶虎;白强;陈绍凤 | 主分类号 | G01R29/12(2006.01) | IPC主分类号 | G01R29/12(2006.01);G01R29/00(2006.01) | 专利有效期 | 交错振动式电场传感器 至交错振动式电场传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明是一种交错振动式微型电场传感器，包括 基底1，感应电极2，屏蔽电极3，驱动结构4，外壳5。感应 电极2和屏蔽电极3边缘有处于交错状态的梳齿。当屏蔽电极 3表面凸出于感应电极2的表面时，感应电极2表面感应电荷 较多；当屏蔽电极3表面下凹于感应电极2的表面时，感应电 极表面感应电荷较少。在驱动结构4上施加驱动电压时，感应 电极2和屏蔽电极3的相对位置随时间发生变化，输出感应电 流。测量这个电流的大小可以测量电场强度。这种振动方式使 本发明传感器具有感应信号大、工作状态稳定的特点。 |
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