| 专利名称 | 一种投影光学系统 | 申请号 | CN201210360715.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102981249A | 公开（授权）日 | 2013.03.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 冉英华;邢廷文;张海波;吕保斌;陈红丽;白瑜 | 主分类号 | G02B13/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B13/18(2006.01)I;G02B13/14(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种投影光学系统 至一种投影光学系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种投影光学系统，沿投影光学系统光轴方向依次安置第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组并处于同一光轴；第一透镜组和第三透镜组具有负光焦度；第二透镜组、第四透镜组和第五透镜组具有正光焦度；第一透镜组接收输入光束并输出第一发散光束；第二透镜组接收第一发散光束并输出第二发散光束；第三透镜组接收第二发散光束并输出第一会聚光束；第四透镜组接收第一会聚光束并输出第三发散光束；第五透镜组接收第三发散光束并输出第二会聚光束，将第二会聚光束会聚到像面。本发明在高分辨率和大数值孔径的条件下，有效地减少镜片数量、降低系统的加工、检测、装调成本，同时也能提供较大的物方和像方工作距。 |
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