桥式N电极型氮化镓基大管芯发光二极管及制备方法

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专利名称 桥式N电极型氮化镓基大管芯发光二极管及制备方法 申请号 CN200510011812.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1870304 公开(授权)日 2006.11.29 申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 贾海强;李卫;李永康;彭铭曾;朱学亮 主分类号 H01L33/00(2006.01) IPC主分类号 H01L33/00(2006.01) 专利有效期 桥式N电极型氮化镓基大管芯发光二极管及制备方法 至桥式N电极型氮化镓基大管芯发光二极管及制备方法 法律状态 授权 说明书摘要 本发明涉及一种可解决P电极和N电极边缘间发 光损失的桥式N电极型氮化镓基大管芯发光二极管及制备方 法,通过金属有机物化学气相沉积生长技术,在异质材料或双 抛面蓝宝石衬底上生长氮化镓基LED的多层材料结构,经过 光刻、淀积、刻蚀、蒸发、剥离等步骤制备,其结构包括:淀 积在氮化镓基基片上的至少一片状P电极和至少两个N电极; N电极为呈点状分布于片状P电极之间的多个点状N电极;淀 积在点状N电极之间的条状绝缘介质层;以及蒸镀在条状绝缘 介质层上,并与相应N电极相连接的金属反射薄膜层。可以增 加P型区面积,减小结电流密度,提高内、外量子效率,并且 芯片有更高的饱和电流,大幅提高了倒装焊LED芯片的发光 效率。

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