| 专利名称 | 一种Z-θx-θy三自由度纳米级精度两体式工作台 | 申请号 | CN201210532644.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102969031A | 公开（授权）日 | 2013.03.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 翟嘉;谭大川;吴永前;张灿 | 主分类号 | G12B5/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G12B5/00(2006.01)I;G12B9/10(2006.01)I | 专利有效期 | 一种Z-θx-θy三自由度纳米级精度两体式工作台 至一种Z-θx-θy三自由度纳米级精度两体式工作台 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种Z-θx-θy三自由度纳米级精度两体式工作台，包括：压电陶瓷驱动器、压电陶瓷驱动器螺钉、压电陶瓷驱动器端盖、压电陶瓷驱动器端盖螺钉、外筒、柔性铰链与外筒螺钉、柔性铰链、柔性铰链与工作台螺钉、工作台。本发明结构紧凑，可实现Z-θx-θy三自由度纳米级精度的无耦合运动或定位，由于采用了柔性机构与工作台两体式的结构，使得加工工艺性更好；且二者可采用不同的材料，以加强或降低某部分刚度；此外，柔性机构对工作台的着力点可按需设计，防止有害力矩产生。 |
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