| 专利名称 | 光学滤光片薄膜厚度的监控方法 | 申请号 | CN200610027389.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1862297 | 公开（授权）日 | 2006.11.15 | 申请（专利权）人 | 上海欧菲尔光电技术有限公司;中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 周东平 | 主分类号 | G02B5/20(2006.01) | IPC主分类号 | G02B5/20(2006.01);G06F17/50(2006.01) | 专利有效期 | 光学滤光片薄膜厚度的监控方法 至光学滤光片薄膜厚度的监控方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种光学滤光片薄膜厚度的监控 方法，该方法是首先计算出每块监控片都以中心波长λ0为监 控波长的光谱曲线；再计算出偏离中心波长为监控波长的系列 光谱曲线；然后用常规的极值间接监控方法在基片上镀光学薄 膜；对镀制好的滤光片进行光谱曲线测试；将测试的光谱曲线 与模拟计算的光谱曲线进行对比，找出与计算光谱曲线中最相 近的光谱曲线，调整监控波长重新制备新的滤光片，如此重复， 直到滤光片的测试光谱曲线的波形和透过率或反射率指标达 到设计要求的指标。本发明方法的最大优点是：提高了薄膜厚 度控制精度。对窄带滤光片的制备特别有利。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障