一种大口径离轴非球面测量和标定系统

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专利名称 一种大口径离轴非球面测量和标定系统 申请号 CN201010181989.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101858735A 公开(授权)日 2010.10.13 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 雷柏平;伍凡;范斌;万勇建;侯溪 主分类号 G01B11/24(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/24(2006.01)I;B24B19/00(2006.01)I 专利有效期 一种大口径离轴非球面测量和标定系统 至一种大口径离轴非球面测量和标定系统 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种大口径离轴非球面测量和标定系统,包括一台干涉仪、标准镜头、两个平凹透镜、一个直角反射棱镜、一块标准平面反射镜以及需要测量或者标定的离轴非球面组成。从干涉仪发射出来的标准平行光,经过标准镜头后会聚于需要测量或者标定的离轴非球面的焦点上,再经过离轴非球面的反射后变成平行光并由标准平面反射镜沿原光路反射回来,最后由干涉仪的图像处理软件对大口径离轴非球面的面形进行分析处理,完成大口径离轴非球面测量。而同样从干涉仪中心发射出的细光束,沿着主光轴方向入射到第一个平凹透镜上,透射后进入直角反射棱镜,并经其反射后偏转90°,入射到第二个平凹透镜上,最后经过离轴非球面表面矢高的最低点与最高点射出,移动标准平面反射镜使这一束光沿原路返回,可保证各个元器件的中心在同一高度,并可根据已知条件完成大口径离轴非球面的几何参数测量与标定。

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