一种ECR离子源的蒸发冷却装置

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专利名称 一种ECR离子源的蒸发冷却装置 申请号 CN201020244325.1 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN201846521U 公开(授权)日 2011.05.25 申请(专利权)人 中国科学院电工研究所;中国科学院近代物理研究所 发明(设计)人 阮琳;赵红卫;宋福川;张雪珍;顾国彪;熊斌;袁佳毅;谢祖棋;卢旺;郭卉;余顺周;刘斐辉 主分类号 H05H7/00(2006.01)I IPC主分类号 H05H7/00(2006.01)I;H01J29/00(2006.01)I 专利有效期 一种ECR离子源的蒸发冷却装置 至一种ECR离子源的蒸发冷却装置 法律状态 说明书摘要 一种ECR离子源的蒸发冷却装置,其注入线包(110)和引出线包(120)分别密封在两个环形腔体中,构成注入线包冷却空间(1)和引出线包冷却空间(2)。此两个冷却空间的下部与集液总管(11)连通,此两个冷却空间的上部与集汽总管(12)连通。此两个冷却空间中注入蒸发冷却介质。等离子体弧腔(330)的内外壁之间的通液夹层中灌入冷却介质,构成弧腔夹层冷却空间(3)。弧腔夹层冷却空间(3)与集液总管(11)和集汽总管(12)连通。注入线包冷却空间(1)、引出线包冷却空间(2)和弧腔夹层冷却空间(3)在冷却回路上相互并联,共同使用一个冷凝器(15)。集液总管(11)和集汽总管(12)与冷凝器(15)相连通。

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