| 专利名称 | 微小型光纤光谱仪的结构及其狭缝的制作方法 | 申请号 | CN200510016752.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1854696 | 公开（授权）日 | 2006.11.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 吴一辉;贾宏光;周连群;张平;鞠挥;宣明 | 主分类号 | G01J3/02(2006.01) | IPC主分类号 | G01J3/02(2006.01);G01N21/62(2006.01) | 专利有效期 | 微小型光纤光谱仪的结构及其狭缝的制作方法 至微小型光纤光谱仪的结构及其狭缝的制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及微小型光纤光谱仪的结构及其制作 方法。包括安装槽1、支架2、第一螺纹孔3、第一槽4、第二 槽5、光阑6、第三槽7、第四槽8、台阶面9、入口10、第二 螺纹孔11、第三螺孔12、出口13、压盖14、成像反射镜15、 准直反射镜16、光栅17、狭缝23，对狭缝坯体氧化、涂胶、 光刻形成带凹坑图形，腐蚀、去胶然后涂胶、光刻形成狭缝孔 图形，再ICP刻蚀或湿法腐蚀，形成不通透沟槽的狭缝坯体并 去胶，ICP刻蚀或湿法腐蚀得到凹坑和狭缝孔。通过采用微机 械工艺制备体积微小、价格低廉的狭缝，结构紧凑、体积小的 支架，集成化的光阑，使得支架与光学系统形成一体，光学元 件准确快速定位和牢固固定，从而实现了空间结构简单、集成 化的微小型光纤光谱仪。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
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