基于激光光谱法的高灵敏SF6大范围监测仪

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专利名称 基于激光光谱法的高灵敏SF6大范围监测仪 申请号 CN200610040630.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1851447 公开(授权)日 2006.10.25 申请(专利权)人 中国科学院安徽光学精密机械研究所 发明(设计)人 刘文清;张玉钧;司福祺;崔益本;阚瑞峰;蔡毅敏 主分类号 G01N21/39(2006.01) IPC主分类号 G01N21/39(2006.01) 专利有效期 基于激光光谱法的高灵敏SF6大范围监测仪 至基于激光光谱法的高灵敏SF6大范围监测仪 法律状态 授权 说明书摘要 本发明公开了一种基于激光光谱法的高灵敏SF6 大范围监测仪,包括有机箱,机箱上安装有电源插座,开关, 机箱内安装有数据处理模块,其特征在于机箱底面上安装有二 氧化碳激光器及其电源、冷凝水系统,二氧化碳激光器的出光 口前安装有反射镜,在二氧化碳激光器发出的激光经该反射镜 反射的光路中,安装有一个电机驱动的斩波器,经反射镜反射 的激光束经过斩波器上的缺口射出者,再经过机箱上的出光 口,到达安装在机箱外的激光原始光强探测器接收;经反射镜 反射的激光束经转盘上的金属膜反射后的光路中,安装有气体 吸收后的光强探测器。真正做到了高精度(1ppm变化)、定量化、 长寿命、大面积的SF6连续实时在线监测。

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