| 专利名称 | 用于真空系统的可移动、万向蒸发源装置 | 申请号 | CN200610083452.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1851037 | 公开（授权）日 | 2006.10.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 刘慧;赵宏武;陈东敏 | 主分类号 | C23C14/24(2006.01) | IPC主分类号 | C23C14/24(2006.01) | 专利有效期 | 用于真空系统的可移动、万向蒸发源装置 至用于真空系统的可移动、万向蒸发源装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种用于真空系统的可移动、万向 蒸发源装置，包括可插拔电极、接收与支撑部件、蒸发源部分 以及传送杆接收部件；所述可插拔电极电绝缘固定于接收与支 撑部件上并与蒸发源电连接，所述接收与支撑部件上设有用于 连接蒸发源接收台的支撑口，传送杆接收部件上设有用于连接 传送杆的连接装置，蒸发源部分两端分别与接收与支撑部件及 传送杆接收部件相固定连接。由于本发明装置由可插拔电极、 接收与支撑部件、蒸发源装置、及传送杆接收部件组成，传送 杆接收部件上设有用于连接传送杆的螺纹孔，因此可通过传送 杆将本发明装置传送到薄膜生长与制备室而不破坏真空条件。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障