金属基极有机晶体管及其制备方法

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专利名称 金属基极有机晶体管及其制备方法 申请号 CN200610016875.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1851954 公开(授权)日 2006.10.25 申请(专利权)人 中国科学院长春应用化学研究所 发明(设计)人 马东阁;仪明东;于顺洋;游汉;冯陈刚 主分类号 H01L51/05(2006.01) IPC主分类号 H01L51/05(2006.01);H01L51/40(2006.01) 专利有效期 金属基极有机晶体管及其制备方法 至金属基极有机晶体管及其制备方法 法律状态 专利申请权、专利权的转移 说明书摘要 本发明属于一种用有机半导体材料做有源介质 的金属基极有机晶体管及其制备方法。采用垂直结构,把金属 基极、有机发射极和发射极接触金属直接蒸镀在n型或p型高 掺杂硅衬底上,制备成金属接触电极/高掺杂硅衬底/金属基极/ 有机发射极/发射机接触金属电极/金属基极有机晶体管。制备 的器件直接用直流电流驱动,得到的器件的共基极增益接近于 1,共发射极增益最大可达8500。器件的制备工艺简单,成本 低。

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