| 专利名称 | 高灵敏度的微电子机械系统的光电检流计、制作及其检测方法 | 申请号 | CN200610026521.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1844937 | 公开（授权）日 | 2006.10.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 吴亚明;赵本刚;高翔;刘玉菲;徐静 | 主分类号 | G01R19/00(2006.01) | IPC主分类号 | G01R19/00(2006.01) | 专利有效期 | 高灵敏度的微电子机械系统的光电检流计、制作及其检测方法 至高灵敏度的微电子机械系统的光电检流计、制作及其检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种基于微电子机械系统(Micro－ Electronic MechanicSystem，MEMS)的光电检流计、制作及其 检测方法，其特征在于采用微机械工艺制作螺旋线圈式MEMS 扭转微镜。无需放大电路，将待测的直流或低频微弱电流输入 驱动线圈，置于外加永磁铁产生的强磁场中，驱动线圈将受到 洛伦兹力产生的力矩作用，驱动微镜偏离初始位置，利用双光 纤准直器对角度非常敏感的特性进行检测，根据光信号的损耗 量与扭转角度的关系，经过光电转换与信号处理后测量出电流 值。这种MEMS光电检流计，输入端无需放大电路，可达到 安培至皮安量级电流的直接准确测量，克服了微弱电流信号放 大过程中引起的噪声干扰和漂移等技术问题，同时可以实现输 入端与输出端的光电隔离，是一种体积小、结构简单、成本低、 可以批量生产和抗震性好的高灵敏度光电检流计。 |
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