| 专利名称 | 一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法 | 申请号 | CN200610026522.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1844938 | 公开（授权）日 | 2006.10.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 吴亚明;赵本刚;徐静;刘玉菲;高翔;李四华 | 主分类号 | G01R19/02(2006.01) | IPC主分类号 | G01R19/02(2006.01) | 专利有效期 | 一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法 至一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明是一种基于微电子机械系统的光学电流 传感器，其特征在于采用微机械工艺将MEMS金属线圈制作 于MEMS扭转微镜上，非磁性骨架结构的Rogowski线圈和 MEMS金属线圈将高压交流电信号以感应电流的形式引入到 MEMS扭转微镜的线圈中，在MEMS扭转微镜的背面制作反 射镜面，镜面将在电磁力矩的作用下绕轴摆动，采用对角度非 常敏感的光束耦合方式能够精确测量出镜面摆动角度，就可以 获知电流值。这种光学电流传感器将MEMS技术运用到高压 大电流检测中，以感应电流驱动，在高压端无需驱动电源，实 现了光电隔离，具有体积小、成本低、可批量生产、抗干扰等 优点，具有较高的测试精度和灵敏度，是一种具有应用前景的 光学电流传感器。 |
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