专利名称 | 静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器 | 申请号 | CN200510051570.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN1831545 | 公开(授权)日 | 2006.09.13 | 申请(专利权)人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明(设计)人 | 夏善红;彭春荣;白强;陈绍凤 | 主分类号 | G01R29/12(2006.01) | IPC主分类号 | G01R29/12(2006.01);G01R29/00(2006.01) | 专利有效期 | 静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器 至静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感 器,包括:静电梳齿激励部分、屏蔽电极、正感应电极和负感 应电极、支撑梁部分和固定锚点等几部分。正感应电极和负感 应电极既可以位于屏蔽电极的下方,也可以位于接地屏蔽电极 的同一平面内,通过静电梳齿的激励作用,屏蔽电极在平面内 来回周期振动,从而周期性地屏蔽、暴露正感应电极或者负感 应电极,使得正感应电极和负感应电极产生交变的感应电流, 实现外电场的探测。并且本发明采用正感应电极和负感应电 极,实现差分检测,极大地减小了共模干扰,提高了电场信号 检测的灵敏度。本发明的微型电场传感器具有如下优点:成本 低、重量轻、易于批量生产和集成化、动态响应好、稳定性好、 灵敏度高。 |
1、源头对接,价格透明
2、平台验证,实名审核
3、合同监控,代办手续
4、专员跟进,交易保障