| 专利名称 | 实现探针与相变存储器器件单元纳米电极可靠接触的方法 | 申请号 | CN200610023827.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1832050 | 公开（授权）日 | 2006.09.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 宋志棠;吴良才;刘波;封松林 | 主分类号 | G11C29/00(2006.01) | IPC主分类号 | G11C29/00(2006.01);G01R31/00(2006.01) | 专利有效期 | 实现探针与相变存储器器件单元纳米电极可靠接触的方法 至实现探针与相变存储器器件单元纳米电极可靠接触的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种电学测量过程中实现探针针尖 与相变存储器器件单元纳米电极可靠接触的方法，其特征在于 将测试探针和待测样品串联到一外围直流电路中，缓慢调节探 针升降旋钮，先粗调后细调，当探针针尖和样品表面接触时， 外围直流电路导通，串接在直流回路中的报警器报警，表明针 尖与样品已经接触上，可以进行样品的电学性能测量；具有有 效地保护样品，避免纳米电极和相变材料被针尖划伤甚至扎 穿，造成上、下电极短路；可以保护针尖本身，避免压力过大 使针尖翘曲、变形，甚至断裂；可以实现低温、高温或其它环 境下探针与电极的可靠接触。 |
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