| 专利名称 | 磁驱动或热磁混合驱动微型电场传感器 | 申请号 | CN200510051261.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1828318 | 公开（授权）日 | 2006.09.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 夏善红;陈贤祥;白强;陈绍凤 | 主分类号 | G01R29/12(2006.01) | IPC主分类号 | G01R29/12(2006.01);G01R29/00(2006.01) | 专利有效期 | 磁驱动或热磁混合驱动微型电场传感器 至磁驱动或热磁混合驱动微型电场传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种磁驱动或热磁混合驱动的微型电场传感器， 采用洛仑兹力驱动或采用热应力与洛仑兹力共同驱动屏蔽电 极，在水平方向上振动，使传感器重量轻、响应速度快、易于 集成；其测量的电流信号采用差分方式输出。本发明的驱动结 构紧凑，占用芯片面积很少，可提高正负感应电极的面积，由 于基于电荷感应式的电场传感器检测电流信号与屏蔽电极的 工作频率和感应电极面积的乘积成正比，磁驱动微型电场传感 器驱动频率很高，感应电极面积大，对提高微型电场传感器的 检测灵敏度极为有利；热磁混合驱动微型电场传感器在工艺上 更简单，可用目前国际上若干代工厂的工艺条件进行加工，其 驱动电压很小，驱动电流在毫安量级，能够采用标准的CMOS 电路作为激励信号源。 |
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