| 专利名称 | 热驱动微型电场传感器 | 申请号 | CN200510051260.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1828317 | 公开（授权）日 | 2006.09.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 夏善红;陈贤祥;白强;陈绍凤 | 主分类号 | G01R29/12(2006.01) | IPC主分类号 | G01R29/12(2006.01);G01R29/00(2006.01) | 专利有效期 | 热驱动微型电场传感器 至热驱动微型电场传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种热驱动微型电场传感器，其采用热应力驱动 屏蔽电极，在水平方向上振动，使传感器具有体积小、重量轻、 响应速度快、易于集成的特点；其测量的电流信号采用差分方 式输出，提高了电场检测信号的信噪比与灵敏度。本发明以较 小的驱动电压和驱动电流不仅可以减小激励信号源对感应电 极信号的耦合干扰，而且可以采用标准的CMOS电路作为激励 信号源；热驱动微型电场传感器的感应电极分为正感应电极和 负感应电极两组，采用差分的方法检测，这样可以大大降低共 模干扰，从而提高电场信号检测的信噪比与灵敏度。 |
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