| 专利名称 | 三维集成微机械加速度传感器及制作方法 | 申请号 | CN200510111362.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1821787 | 公开（授权）日 | 2006.08.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 李昕欣;张鲲;王跃林 | 主分类号 | G01P15/18(2006.01) | IPC主分类号 | G01P15/18(2006.01);G01P15/12(2006.01) | 专利有效期 | 三维集成微机械加速度传感器及制作方法 至三维集成微机械加速度传感器及制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种三维集成的高量程加速度传感 器。其特征在于所述的三维加速度传感器是由三个相互独立的 加速度传感元件集成一体构成的；X、Y轴方向的加速度传感 元件的结构相同，其敏感方向在硅平面方向，两个相同结构的 传感元件相互垂直排布；Z轴方向的加速度传感元件为另一种 结构，其敏感方向为硅片的垂直方向，平行排布于X、Y轴方 向的加速度传感元件的一侧；是采用MEMS常规工艺制作， 且考虑了两种不同传感元件的工艺兼容问题，使制作的传感器 三个方向的敏感元件没有窜扰现象，且可依要求设计出1－10 万g的不同量程的三维高冲击加速度传感器。 |
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