| 专利名称 | 一种建立在流场理论基础上的制备多组分薄膜的方法 | 申请号 | CN200610008278.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1807678 | 公开（授权）日 | 2006.07.26 | 申请（专利权）人 | 中国科学院力学研究所 | 发明（设计）人 | 樊菁 | 主分类号 | C23C14/24(2006.01) | IPC主分类号 | C23C14/24(2006.01);C23C14/56(2006.01) | 专利有效期 | 一种建立在流场理论基础上的制备多组分薄膜的方法 至一种建立在流场理论基础上的制备多组分薄膜的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种建立在流场理论基础上的制 备多组分薄膜的方法，该方法根据真空室内多个蒸发源同时蒸 发时所形成的蒸气粒子的流场分布状况，将基片置于蒸发源上 方，切基片平行于蒸发面。在基片所处的流场横断面上，多元 蒸气粒子具有与待制备薄膜相同摩尔组分分布比例的分布带， 使基片在所述流场横断面中沿所述蒸气粒子分布带运动，以沉 积出具有所需摩尔组分分布比例的薄膜，基片的运动速度与所 述分布带中粒子的分布密度相协调，所制备薄膜的面积与所述 分布带的宽度相对应。本发明方法充分利用了蒸汽粒子在流场 中的分布规律，克服了现有技术依靠经验制备多元薄膜所存在 的问题，为多组分薄膜在产业上的推广应用创造了条件。 |
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