| 专利名称 | 一种大行程高速双重驱动纳米定位系统 | 申请号 | CN201210112686.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102629122A | 公开（授权）日 | 2012.08.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 刘旗;马平;胡松;李兰兰;盛壮;朱江平 | 主分类号 | G05B19/414(2006.01)I | IPC主分类号 | G05B19/414(2006.01)I | 专利有效期 | 一种大行程高速双重驱动纳米定位系统 至一种大行程高速双重驱动纳米定位系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种大行程高速双重驱动纳米定位系统，该纳米定位系统包括运动轨迹指令系统(101)、主控计算机(102)、PMAC运动控制板卡(103)、伺服运动控制系统(104)、定位平台和测量控制系统(107)，其中，定位平台包括宏动台(105)和微动台(106)，该纳米定位系统考虑了三轴测量以及三轴控制，可对X、Y1、Y2进行精密控制，定位平台采用“长行程的直线电机+短行程的平面电机”的运动方式，运动控制方式选取主从控制，短行程平面电机为主控制对象，用激光干涉仪测量反馈，完成小范围高精度运动，长行程直线电机作为短程电机的从控制系统，用光栅尺测量反馈，完成长行程高速粗运动。通过对平面电机运动解耦以及引入PMAC运动控制板卡极大提高了系统的响应速度和实时性能。 |
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