| 专利名称 | 一种微机械磁场传感器及其制备方法 | 申请号 | CN201210133940.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102645565A | 公开（授权）日 | 2012.08.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 熊斌;吴国强;徐德辉;王跃林 | 主分类号 | G01R3/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R3/00(2006.01)I;G01R33/028(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种微机械磁场传感器及其制备方法 至一种微机械磁场传感器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种微机械磁场传感器及其制备方法，属于微机电系统领域。该方法通过在器件结构层上沉积一具有接触孔的牺牲层，然后在所述牺牲层上制备金属线圈，接着腐蚀掉所述牺牲层，最后利用干法刻蚀制作出器件结构，并将器件结构进行释放以形成谐振振子，从而形成了一个金属线圈悬于谐振振子之上的微机械磁场传感器。本发明提出的微机械磁场传感器的谐振振子工作在扩张模态，因而金属线圈上每小段金属切割磁感线产生感应电动势会相互叠加，增强了输出信号的强度，同时金属线圈与谐振振子之间接触面的减少解决了高频时的信号串扰问题。此外，本发明所述的微机械磁场传感器具有低功耗、驱动-检测电路简单、受温度影响小、以及工艺简单等优点。 |
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