| 专利名称 | 一种硅微加速度传感器 | 申请号 | CN201210135567.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102645556A | 公开（授权）日 | 2012.08.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院声学研究所 | 发明（设计）人 | 索智群;何庆;乔东海 | 主分类号 | G01P15/125(2006.01)I | IPC主分类号 | G01P15/125(2006.01)I;G01P15/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种硅微加速度传感器 至一种硅微加速度传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种硅微加速度传感器，包括加速度传感头和背极板，加速度传感头包括框架，背极板和框架形成包围加速度传感头的空间，在框架和背极板之间形成气孔，从而使加速度传感头与背极板之间的空气能够通过气孔自由流动。本发明的硅微加速度传感器在框架和背极板之间形成气孔，既有利于调节系统参数又简化了制备工艺，降低了成本。 |
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