一种微/纳米级结构的加工装置

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专利名称 一种微/纳米级结构的加工装置 申请号 CN200410103544.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1796266 公开(授权)日 2006.07.05 申请(专利权)人 中国科学院理化技术研究所 发明(设计)人 白晓丹;刘静 主分类号 B81C5/00(2006.01) IPC主分类号 B81C5/00(2006.01);B82B3/00(2006.01) 专利有效期 一种微/纳米级结构的加工装置 至一种微/纳米级结构的加工装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种微/纳米级结构的加工装置,包括:由透明耐 化学腐蚀材料制做的箱体,其内底面上放有带三维移动导轨的 加工操作平台;平台上放置温度控制元件;箱体内放置由电、 磁和光场控制器控制的可产生电场的金属板式电极、可产生磁 场的永磁体/电磁体阵列和由可移动的半导体激光器构成的激 光光源和与外置气源相通的气泡发生器;自带电源的控制电路 分别与温度控制元件,电、磁和光场控制器和气泡发生器电相 连。本装置借助表面活性剂生成或直接产生的气泡,利用其薄 液膜的微/纳米级厚度,运用具有二元或多元成分的薄液膜融合 过程中发生在微尺度下的化学反应,单独或同时利用反应过程 及其生成物,在各种基底表面进行加工,以制造出特定的微/ 纳米级结构。

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