高重频脉冲激光诱导电极定向放电的方法及该方法的应用

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专利名称 高重频脉冲激光诱导电极定向放电的方法及该方法的应用 申请号 CN200510132763.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1785567 公开(授权)日 2006.06.14 申请(专利权)人 中国科学院力学研究所 发明(设计)人 杨明江;王之桐;李正阳;彭林华;韩延良 主分类号 B23H7/38(2006.01) IPC主分类号 B23H7/38(2006.01);B23H9/04(2006.01) 专利有效期 高重频脉冲激光诱导电极定向放电的方法及该方法的应用 至高重频脉冲激光诱导电极定向放电的方法及该方法的应用 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种高重频脉冲激光诱导电极定 向放电的方法,将被加工工件与放电电极分别连接脉冲电源的 两极,使激光发生器产生的高重频脉冲激光照射被加工工件表 面,利用激光照射时在照射点处产生的等离子体羽作为触发开 关,诱导放电电极向被加工工件上激光照射点处高重频定向放 电,其中高重频脉冲激光的频率与脉冲电源的频率相匹配,放 电电极的位置与激光照射点的位置相协调。采用上述方法后, 由于首先使激光照射到被加工工件表面产生等离子体羽,在等 离子体羽的诱导下,使设置在激光照射点附近的放电电极放 电,激光的指向性好、毛化分布与均匀性可控制性好、工作频 率高,而放电电源的放电功率可根据需要提高。

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