| 专利名称 | 悬臂梁－质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器 | 申请号 | CN200510030947.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1786718 | 公开（授权）日 | 2006.06.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 杨恒;庞洁;李昕欣;王跃林 | 主分类号 | G01P15/02(2006.01) | IPC主分类号 | G01P15/02(2006.01) | 专利有效期 | 悬臂梁－质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器 至悬臂梁－质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种悬臂梁－质量块结构的吸合时 间式数字加速度传感器其特征在于(1)质量块由悬臂梁支撑，组 成悬臂梁－质量块结构，通过锚点与衬底连接；在质量块两侧 对称分布了一对左、右驱动电极和一对左、右敏感电极；所述 传感器用纯数字电路制作接口电路；(2)所述的悬臂梁－质量块 结构在X－Y平面内绕锚点运动；(3)质量块与敏感电极接触为 状态A，质量块不与敏感电极接触为状态B。状态A与B可以 用数字电路中的0和1(或者1和0)表示；本发明提供的是一种 纯数字式传感器，接口电路易于制又可实现超微小型化而灵敏 度和非线性与传流电容或传感器相当。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障