| 专利名称 | 运动部件位置的真空信号引出装置 | 申请号 | CN200920288412.4 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201569447U | 公开（授权）日 | 2010.09.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 发明（设计）人 | 佟雷;汪良;孙影;林秀青;佟辉 | 主分类号 | G01D5/34(2006.01)I | IPC主分类号 | G01D5/34(2006.01)I | 专利有效期 | 运动部件位置的真空信号引出装置 至运动部件位置的真空信号引出装置 | 法律状态 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及将真空环境内的信号引出到大气环境的设备，具体地说是一种运动部件位置的真空信号引出装置，波纹管及法兰依次套设在直杆上，波纹管的一端与直杆相连，另一端与法兰的一端连接，法兰的另一端与真空室密封连接；所述直杆位于法兰以下的部分插入真空室内、且底端设有与运动部件滚动摩擦的触点，直杆靠近顶端的位置上设有通光狭缝，所述光电开关安装在法兰上、位于直杆设有通光狭缝的两侧；在直杆位于真空室内部分的外部套设有与法兰相连的竖直套管，该竖直套管与直杆之间设有限制直杆径向平动自由度的导向铜套。本实用新型通过刚性传递将机械触点信号从真空环境中引出，并转换成精确的光电信号输出，运动定位精确，信号响应及时。 |
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