大气压低温等离子体电刷发生装置及其阵列组合

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专利名称 大气压低温等离子体电刷发生装置及其阵列组合 申请号 CN201110024536.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102065626A 公开(授权)日 2011.05.18 申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 段忆翔;赵卫;汤洁 主分类号 H05H1/30(2006.01)I IPC主分类号 H05H1/30(2006.01)I 专利有效期 大气压低温等离子体电刷发生装置及其阵列组合 至大气压低温等离子体电刷发生装置及其阵列组合 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种大气压低温等离子体电刷发生装置及其阵列组合,以解决现有技术中大气压等离子体发生装置工作时产生的等离子体气流温度较高,需额外配置冷却系统而导致难以在实际工业应用的问题。其结构包括主体腔室和两个电极,主体腔室具有进气端口和出气端口,所述出气端口为窄缝状,主体腔室内靠近该出气端口的部分自然形成窄缝腔体,所述两个电极的放电端位于所述窄缝腔体处。本发明大气压低温等离子体电刷发生装置可以在常压下产生等离子体;其结构设计具有多样性,且成本低廉,操作安全方便,采用本发明等离子体电刷发生装置在处理大面积或复杂外形结构的物品时,要比传统的低压等离子体发生设备简单的多。

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