| 专利名称 | 一种激光微纳加工系统及方法 | 申请号 | CN201010290490.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102000912A | 公开（授权）日 | 2011.04.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明（设计）人 | 段宣明;陈述;董贤子;赵震声 | 主分类号 | B23K26/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B23K26/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种激光微纳加工系统及方法 至一种激光微纳加工系统及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种激光微纳加工系统及方法。根据本发明的系统包括：激光光源，用于提供具有第一波长的第一激光束和具有第二波长的第二激光束，第一激光束和第二激光束的脉冲宽度分别为从纳秒到飞秒范围且第一波长不同于第二波长；光学延迟组件，用于调节第一激光束或第二激光束的光程使得第一激光束与第二激光束到达焦点的时间差不大于待加工光敏材料被激发到激发态的能级寿命；光学聚焦组件，用于将第一激光束和第二激光束聚焦到同一焦点；和计算机控制的微移动台，用于将其上放置的光敏材料调节至所述焦点。 |
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