一种激光跟踪仪测量中环境补偿的方法

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专利名称 一种激光跟踪仪测量中环境补偿的方法 申请号 CN201010535206.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102003935A 公开(授权)日 2011.04.06 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 李杰;吴时彬;伍凡 主分类号 G01B9/00(2006.01)I IPC主分类号 G01B9/00(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I;G01B11/26(2006.01)I 专利有效期 一种激光跟踪仪测量中环境补偿的方法 至一种激光跟踪仪测量中环境补偿的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种激光跟踪仪测量中环境补偿的方法,属于光电工程技术领域,用于激光跟踪仪在测量过程中受环境因素影响的补偿,其步骤为:(1)从激光跟踪仪内置双频激光器的出射双频激光中分光出补偿用激光;(2)将补偿用激光投射至被测件上并由角锥棱镜反射形成补偿光路;(3)在补偿光路中加入干涉元器件,使补偿光路具备双频激光干涉测距功能;(4)在补偿光路中加入分光及PSD(位置敏感探测器)元器件,使补偿光路具备PSD位移测量功能;(5)使用双频激光干涉测距数据及PSD位移测量数据对激光跟踪仪测量结果实时补偿。本发明可以解决激光跟踪仪在大尺寸、高精度在线测量中受环境因素而产生测量精度下降的问题,同时结构简单,易于实现。

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