| 专利名称 | 一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件 | 申请号 | CN201210336864.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102877029A | 公开（授权）日 | 2013.01.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 郁菁;许小亮 | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/24(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件 至一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件，主要包括球形蒸发样品架，多尺寸样品槽，圆柱形空腔，观察窗，进气孔，真空泵接口，真空规管接口，蒸发用电极等部件组成。可以在不改变现有硅基太阳能电池片生产流程的基础上，实现对商用太阳能电池片进行多片同时蒸镀均匀微纳米级金属薄膜的目的。独特的球形蒸发样品架和多尺寸样品槽的设计，使得本发明可以对不同尺寸的太阳能电池片进行加工以及保证金属薄膜的均匀性。另外此结构使得生产线分工明确，可操作性强，生产效率高。 |
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