| 专利名称 | 一种椭圆偏振仪的校准方法 | 申请号 | CN201210375771.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102879337A | 公开（授权）日 | 2013.01.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司 | 发明（设计）人 | 徐鹏;刘涛;王林梓;刘健鹏;李国光 | 主分类号 | G01N21/21(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/21(2006.01)I | 专利有效期 | 一种椭圆偏振仪的校准方法 至一种椭圆偏振仪的校准方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种对椭偏测量系统中椭圆偏振仪的偏振角度、光入射角度的校准方法，属于光学测量仪器技术领域。该方法根据傅里叶系数，参考样品光学常数，椭圆偏振仪的工作参数的关系式，通过最小二乘法进行拟合，得到椭圆偏振仪的工作参数的校正值。该方法能够对椭圆偏振仪中包括起偏器、检偏器的偏振方向，以及光入射角度在内的系统参数进行校准，校准过程简单、准确，校准完成后，无需调整系统部件即可直接进行测量，从而简化测量过程、提高测量精度。 |
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