| 专利名称 | 一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法 | 申请号 | CN201210307876.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102808153A | 公开（授权）日 | 2012.12.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 刘洪祥;裴文俊 | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/10(2006.01)I;G02B1/11(2006.01)I | 专利有效期 | 一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法 至一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 |
本发明提供一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法，其采用主镜面朝上、保护膜蒸发源位于镜面上方，自上向下的制备方式，保护膜材料为一氧化硅（SiO），装载于经过特殊设计的钼蒸发舟中，加热升华向下蒸发，通过氧化作用生成透明、牢固的SiOx(1 |
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