扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试仪

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专利名称 扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试仪 申请号 CN201210319723.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102788727A 公开(授权)日 2012.11.21 申请(专利权)人 中国科学院力学研究所 发明(设计)人 郇勇;代玉静;邵亚琪;彭光健;张泰华 主分类号 G01N3/00(2006.01)I IPC主分类号 G01N3/00(2006.01)I 专利有效期 扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试仪 至扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试仪 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开一种扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试仪,该力学性能测试仪包括:机架底座、音圈电机、加载轴、光栅尺、动夹具、定夹具、滑块和力传感器;音圈电机安装在所述机架底座的一端,其内部安装有用来测量所述加载轴位移的光栅尺;加载轴由音圈电机内部的电磁线圈驱动运动,其一端位于音圈电机内部,另一端安装有动夹具;机架底座的另一端加工有滑槽,滑槽上固定有滑块;滑块离音圈电机的近端安装有力传感器,定夹具安装在力传感器上。本发明采用了音圈电机,避免了步进电机驱动方式所产生的振动,可以在试样加载状态下获得清晰的高放大倍率的扫描电镜图像,可进行原位拉伸、压缩、弯曲及疲劳力学性能测试。

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