基于金属纳米缝的光束控制方法

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专利名称 基于金属纳米缝的光束控制方法 申请号 CN200510086699.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1752832 公开(授权)日 2006.03.29 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 王长涛;史浩飞;杜春雷;罗先刚 主分类号 G02F1/29(2006.01) IPC主分类号 G02F1/29(2006.01);G02F1/35(2006.01) 专利有效期 基于金属纳米缝的光束控制方法 至基于金属纳米缝的光束控制方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 基于金属纳米缝的光束控制方法,根据所需功能 器件(聚焦、偏光、发散等)出射光场的要求,计算元件出射面 各点的位相分布φi (xi);以金属银作为金属膜材料, 确定入射波长在银膜中趋肤深度;以加工能力对应的最小线宽 ωi作为出射面位相最大值处的 金属缝开孔,以该线宽对应的最大加工深度作为金属膜厚度d, 以金属膜厚度d和出射光场位相分布为基础,计算出射光场各 点模式传播常数βi (xi);逐次计算出射面其他各点处 的金属缝开孔大小ωi (xi)最后以位相最大值处为出发 点,趋肤深度为金属缝间距,计算相邻缝的缝宽。本发明能够 实现偏折、分光、聚焦等功能的,且可在出射面实现任意位相 分布。

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