| 专利名称 | 大口径非球面光学元件中高频差检测方法 | 申请号 | CN200510086657.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1752730 | 公开（授权）日 | 2006.03.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 陈伟;伍凡;姚汉民;吴时彬;陈强 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01) | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01);G01M11/00(2006.01) | 专利有效期 | 大口径非球面光学元件中高频差检测方法 至大口径非球面光学元件中高频差检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种大口径非球面光学元件中高频差检测方法， 涉及一种对光学元件面形误差，尤其是表面面形中高频差的检 测方法的改进。利用信息处理技术对激光数字干涉仪获取的数 据进行处理，采取利用二维功率谱密度求解环围能量评价元件 质量，以实现检测目的。本发明提出的方法，全面考虑了被检 光学元件面形信息，从而可以更加客观的评价光学元件的面形 质量。本发明采用二维功率谱密度对光学元件面形质量进行评 价，提供了一条检测面形质量的新途径，对高质量光学元件的 质量评价具有重要的应用价值。 |
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