| 专利名称 | 一种检测铁电薄膜微波介电特性的方法和装置 | 申请号 | CN200510108300.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1749767 | 公开（授权）日 | 2006.03.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 孟庆端;张雪强;李翡;孙亮;黄建冬;张强;李春光;黎红;何豫生;何艾生 | 主分类号 | G01R31/00(2006.01) | IPC主分类号 | G01R31/00(2006.01);G01R31/12(2006.01) | 专利有效期 | 一种检测铁电薄膜微波介电特性的方法和装置 至一种检测铁电薄膜微波介电特性的方法和装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种检测铁电薄膜微波介电特性 的方法和装置，该装置包括基片，基片上覆盖有待测铁电薄膜， 待测铁电薄膜上设有共面波导线，该共面波导线包括主传输线 和主传输线两侧被缝隙隔开的接地面，所述待测铁电薄膜上还 设有1/4波长共面开路线，该1/4波长共面开路线包括传输线 和传输线两侧被缝隙隔开的接地面，传输线末端为开路端，该 传输线与所述共面波导线上的主传输线相连接。由于本发明的 共面波导线上连接有1/4波长共面开路线，利用1/4波长共面 开路线所形成的谐振峰可方便地得到待测薄膜的介电特性，并 且利用平面工艺可以一次形成检测铁电薄膜时所需要的图形。 因此，与现有技术相比，本发明的技术方案结构原理简单、器 件制作及装配容易、方便实用。 |
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