| 专利名称 | 一种大口径深型非球面镜检测系统 | 申请号 | CN200510116819.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1746648 | 公开（授权）日 | 2006.03.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 侯溪;伍凡;杨力;吴时彬;陈强 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01) | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01);G01M11/00(2006.01) | 专利有效期 | 一种大口径深型非球面镜检测系统 至一种大口径深型非球面镜检测系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种大口径深型非球面镜检测系统包括菲索型 干涉仪、部分补偿器、被测非球面镜、电控平移台及其计算机 控制系统，部分补偿器把干涉仪标准镜头出射的参考平面波前 转换为非球面波前，通过计算机控制电控平移台移动部分补偿 器，产生的参考非球面波前将与被测非球面相应的环带区域相 匹配，通过干涉仪把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出 来，由环形子孔径“拼接”算法将所得到的子孔径测试数据进 行全孔径波前重构，从而获得被测非球面面形信息。本发明具 有所需补偿器容易制造和装调等优点，为大口径、大相对口径 非球面镜的研制提供了一种有效的检测手段，具有广阔的应用 前景。 |
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