专利名称 | 具有多腔结构的窄带滤光片列阵 | 申请号 | CN200510029389.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN1737613 | 公开(授权)日 | 2006.02.22 | 申请(专利权)人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明(设计)人 | 王少伟;陆卫;陈效双;李宁;张波;李志锋;陈平平 | 主分类号 | G02B5/20(2006.01) | IPC主分类号 | G02B5/20(2006.01);G02B1/10(2006.01) | 专利有效期 | 具有多腔结构的窄带滤光片列阵 至具有多腔结构的窄带滤光片列阵 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种具有多腔结构的窄带滤光片 列阵,它是利用多个F-P结构膜系来形成多腔,通过组合镀 膜或组合刻蚀方法来形成谐振腔层列阵,以达到控制每个微型 窄带滤光片的带通峰位,从而实现不同带通峰位窄带滤光片在 同一块基片上集成的目的。这种结构适用于各个波段多腔窄带 滤光片列阵。这种结构的优点是滤光片的带通矩形度好,易于 多通带集成,可以更多地获取各光谱通带内的信号、同时更好 地抑制掉通带外的噪声,大大提高信噪比,能够满足工程化和 实用化需要。 |
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