| 专利名称 | 适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/钛/铂/金的欧姆接触系统 | 申请号 | CN200410058033.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1734728 | 公开（授权）日 | 2006.02.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 魏珂;和致经;刘新宇;刘健;吴德馨 | 主分类号 | H01L21/3205(2006.01) | IPC主分类号 | H01L21/3205(2006.01);B32B15/01(2006.01) | 专利有效期 | 适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/钛/铂/金的欧姆接触系统 至适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/钛/铂/金的欧姆接触系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及半导体技术领域，特别是一种适用于 AlGaN/GaN HEMT器件的新型欧姆接触Al/Ti/Al/Ti/Pt/Au的欧 姆接触系统。新型结构的欧姆接触Al/Ti/Al/Ti/Pt/Au，欧姆接 触系统在680℃－760℃范围内，20－60S范围获得理想的一致 的欧姆接触。合金温度、合金时间有较大的的选择范围，降低 了工艺难度，提高了工艺的重复性。获得到比较理想的合金形 貌，降低了器件研制对设备的要求。这些技术方面的优势是现 有其它欧姆接触技术所不具备的。 |
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