| 专利名称 | 一种非致冷热电堆红外探测器及制作方法 | 申请号 | CN200910247354.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101776483A | 公开（授权）日 | 2010.07.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 熊斌;徐德辉;王跃林 | 主分类号 | G01J5/12(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J5/12(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种非致冷热电堆红外探测器及制作方法 至一种非致冷热电堆红外探测器及制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种非致冷热电堆红外探测器及制作方法，其特征在于在非致冷热电堆红外探测器中的红外吸收区上制作了一个微型加热器。由于微型加热器的制作工艺与热电堆的制作工艺完全兼容，两者实现了同一芯片集成。利用微型加热器对封装后红外探测器的热传导进行测量，实现了对封装后器件的真空度的测量；利用微型加热器模拟热电堆红外探测器的工作状态，实现了探测器红外性能圆片级自检测功能。本发明可用于批量生产，不仅可以对圆片级键合真空封装这一关键工艺步骤进行监测，还以在圆片级对探测器的红外性能进行测量，提高器件测试的效率，降低测试成本，可实现一种低成本、高性能的非致冷热电堆红外探测器。 |
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