| 专利名称 | 线宽测量方法 | 申请号 | CN201010500353.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102437067A | 公开（授权）日 | 2012.05.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 尹海洲;朱慧珑;骆志炯 | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/66(2006.01)I;G01B7/02(2006.01)I | 专利有效期 | 线宽测量方法 至线宽测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种线宽测量方法，包括：提供基底，所述基底的表面上形成有凸起的带线图案，所述带线图案具有宽度；在所述带线图案的宽度方向的两侧侧壁上分别形成第一测量结构和第二测量结构；去除所述带线图案；测量所述第一测量结构和第二测量结构的间距，所述间距去除设定误差后为所述带线图案的宽度。本发明利于降低测量过程中引入的不确定性，减小测量误差。 |
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