| 专利名称 | 适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/镍/金欧姆接触系统 | 申请号 | CN200410058035.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1734730 | 公开（授权）日 | 2006.02.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 魏珂;和致经;刘新宇;刘健;吴德馨 | 主分类号 | H01L21/3205(2006.01) | IPC主分类号 | H01L21/3205(2006.01);B32B15/01(2006.01) | 专利有效期 | 适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/镍/金欧姆接触系统 至适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/镍/金欧姆接触系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及半导体技术领域，特别是一种适用于 AlGaN/GaN HEMT器件的新型欧姆接触Al/Ti/Al/Ni/Au的合金 系统。新型结构的欧姆接触Al/Ti/Al/Ni/Au，具有很大的工艺 宽容度，可以在较低680℃－760℃的情况，获得满意的欧姆接 触特性。该技术的合金温度、合金时间有很大的选择范围，降 低了工艺难度，扩大了工艺宽容度，提高了工艺的重复性。获 得比较理想的合金形貌。这些优势是现有其它欧姆接触技术所 不具备的。 |
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