基于金属微纳结构实现电磁波功能器件的方法

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专利名称 基于金属微纳结构实现电磁波功能器件的方法 申请号 CN200510012135.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1725059 公开(授权)日 2006.01.25 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 杜春雷;史浩飞;罗先刚;王长涛;董小春;高洪涛 主分类号 G02B27/42(2006.01) IPC主分类号 G02B27/42(2006.01);G02B7/00(2006.01);G02F1/35(2006.01) 专利有效期 基于金属微纳结构实现电磁波功能器件的方法 至基于金属微纳结构实现电磁波功能器件的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 基于金属微纳结构实现电磁波功能器件的方法, 首先根据所需功能器件出射光场的要求,设计基底材料及金属 层结构参数,并按照衍射理论求解功能元件表面的位相关系; 然后以功能器件光轴为中心,设置金属通孔,并根据表面等离 子增强要求,在上述金属通孔两侧或四周设置多个凹槽或凹 孔,根据出射光场的方向要求计算各凹槽或凹孔的结构参数; 最后以凹槽或凹孔的深度轨迹形状为周期,对凹槽或凹孔进行 重复,从而构成金属微结构纳米列阵功能元件。本发明可将传 统的功能器件从微米尺度延伸到纳米尺度,突破了衍射极限限 制,为纳光学、纳电子学研究提供了重要手段。

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