| 专利名称 | 玻璃基片装载装置及立式镀膜装置 | 申请号 | CN201210327591.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102912310A | 公开（授权）日 | 2013.02.06 | 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院;香港中文大学 | 发明（设计）人 | 陈旺寿;肖旭东;张撷秋;刘壮;顾光一;杨春雷;宋秋明 | 主分类号 | C23C14/50(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/50(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 玻璃基片装载装置及立式镀膜装置 至玻璃基片装载装置及立式镀膜装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种玻璃基片装载装置，包括：与地面垂直设置的框架，框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口，窗口的尺寸大于玻璃基片的尺寸；相互间隔设置的两个连接件，每一连接件的一端与框架位于所述窗口的顶部可转动相连，另一端与玻璃基片的顶部可转动相连，两个连接件的两个另一端的间距随着玻璃基片受热膨胀而伸长，且随着玻璃基片冷却收缩而缩小；及限位件，设于框架位于窗口的底部，限位件上开设有收容玻璃基片的底部的凹槽。当玻璃基片膨胀时，玻璃基片的横向间距会增大，两个连接件也会随之自然的张开，连接件之间的玻璃基片不会因为挤压而变形。本发明还提供一种应用了玻璃基片装载装置的立式镀膜装置。 |
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