| 专利名称 | 放电设备 | 申请号 | CN200920220079.3 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201522986U | 公开（授权）日 | 2010.07.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 杨景华;张超前;赵玲利;王守国 | 主分类号 | H01J37/04(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J37/04(2006.01)I;H01J37/20(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I;H01J37/30(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I | 专利有效期 | 放电设备 至放电设备 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供了一种放电设备，属于等离子体技术领域。所述放电设备包括：电极阵列，设置成圆弧状，并连接至高频脉冲电源；圆滚轴，由金属制成，并设置成与圆弧状的电极阵列同圆心，用于在接通高频脉冲电源时，在其与电极阵列之间进行放电。本实用新型提供的放电设备可以在大气压下产生低温均匀准辉光等离子体放电通道，可以对穿过等离子体放电区域的各种薄膜材料进行表面改性或接枝处理。 |
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